[发明专利]一种一体化微压电液体泵送装置及其制造和驱动方法在审
申请号: | 202111249966.5 | 申请日: | 2021-10-26 |
公开(公告)号: | CN113944615A | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 李以贵;王保志;董璇;王欢;张成功 | 申请(专利权)人: | 上海应用技术大学 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 杨元焱 |
地址: | 201418 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种一体化微压电液体泵送装置及其制造和驱动方法,泵送装置包括微压电驱动器(1)、弹性板(2)、一体化腔体(3)和止回阀(4);所述的微压电驱动器(1)包括压电陶瓷(11)、基板(12)、电极(13)和驱动块(14),一体化腔体(3)包括进出口流道(31)和储存室(32);所述的弹性板(2)设置在储存室(32)上,驱动块(14)连接弹性板(2),止回阀(4)设置在进出口流道(31)上;所述的电极(13)包括上电极(131)和下电极(132),上电极(131)连接压电陶瓷(11),下电极(132)连接基板(12)。与现有技术相比,本发明具有加工步骤少、结构简单、驱动力大、防漏效果好等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 一体化 压电 液体 装置 及其 制造 驱动 方法 | ||
【主权项】:
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