[发明专利]一种集成压力传感器和湿度传感器的方法有效
| 申请号： | 202111252209.3 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114136503B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 陈果;刘正波;唐诚;吴世海;鲍义东;王江 | 申请（专利权）人： | 贵州航天智慧农业有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01N27/22 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 李龙 |
| 地址： | 550025 贵州省贵阳市贵阳国家高新技*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： |
本发明提供一种集成压力传感器和湿度传感器的方法，该方法是在SOI晶圆衬底上生长一层金属薄膜，作图案化形成类多角星型压力敏感膜，该压力敏感膜的内角处应变最大，外角中部与敏感膜中心之间的区域应变最小，接着沉积一层SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 集成 压力传感器 湿度 传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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