[发明专利]聚合物树脂及其制备方法、电子束光刻胶及其制备与使用方法在审
| 申请号： | 202111256550.6 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN113956395A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 傅志伟;梅崇余;潘新刚;冉瑞成 | 申请（专利权）人： | 江苏汉拓光学材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/22 | 分类号： | C08F220/22;C08F212/12;C08F212/14;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 221132 江苏省徐州市徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种聚合物树脂及其制备方法、电子束光刻胶及其制备与使用方法。聚合物树脂包括以下共聚的三种重复单元：第一重复单元，其衍生自芳香族乙烯基单体；第二重复单元，其衍生自α‑卤代丙烯酸酯单体；第三重复单元，其衍生自具有式I所示的单体。其制备方法包括如下步骤：将芳香族乙烯基单体、α‑卤代丙烯酸酯单体和具有式I所示的单体进行共聚反应。电子束光刻胶包括上述聚合物树脂。电子束光刻胶的制备方法：将电子束光刻胶的各组分混合，得到电子束光刻。电子束光刻胶的使用方法：将光刻胶旋涂在硅片上，依次经过前烘、曝光和显影。本发明在聚合物树脂中引入第三重复单元，在不影响后期光刻基本工艺的条件下改善线条易倒塌的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 树脂 及其 制备 方法 电子束光刻 使用方法 | ||
【主权项】：
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