[发明专利]一种利用热压印制备大面积纳米金属光子晶体的方法有效
申请号: | 202111260589.5 | 申请日: | 2021-10-27 |
公开(公告)号: | CN113985501B | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 窦菲;彭晨;张新平 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | G02B1/00 | 分类号: | G02B1/00;G03F7/00 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 张立改 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种利用热压印制备大面积纳米金属光子晶体的方法,属于金属光子晶体技术领域。在铟锡氧化物(ITO)基片上,直接滴金属纳米颗粒溶液,采用具有纳米结构的(PDMS)模板,利用热压印技术,实现纳米结构的转印,最后通过退火,得到与模板一样纳米结构的金属光子晶体。本方法可以实现大面积纳米金属光子晶体的制备,同时具有简单、高效、低成本的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 压印 制备 大面积 纳米 金属 光子 晶体 方法 | ||
【主权项】:
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