[发明专利]双波长光纤线阵列色散共焦显微探测方法与装置在审
| 申请号： | 202111264608.1 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113959368A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 陈成;杨佳苗;沈阳 | 申请（专利权）人： | 绍兴钜光光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 双波长光纤线阵列色散共焦显微探测方法与装置。本发明属于光学成像与检测领域，可用于微纳精密样品表面形貌的快速测量。本发明结合光纤线阵列共焦和物镜的轴向色散，通过公共光纤端线阵列作为狭缝提供狭缝照明并过滤经样品反射的测量光束，使用波长分光装置分离测量光束中不同波长的光，得到双照明波长下光纤线阵列色散共焦响应强度值，进而获取样品表面沿测量光束光轴方向的位移信息。采用公共端光纤线阵列当作照明狭缝和探测狭缝，降低共焦光路调整难度；利用线色散共焦曲线斜率较大线性区域来替代传统线色散共焦中斜率为零顶点区域，显著提升探测灵敏度和精度。因此，本发明为微纳样品表面轮廓、形貌等高速高精度测量提供了一种可行途径，将在芯片制造等领域具有重要应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 光纤 阵列 色散 显微 探测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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