[发明专利]双波长线色散共焦显微探测方法与装置在审
| 申请号： | 202111264609.6 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113959369A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 杨佳苗;沈阳;陈成 | 申请（专利权）人： | 绍兴钜光光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G02B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 双波长线色散共焦显微探测方法与装置。本发明属于色散共焦位移测量领域，利用双波长色散共焦测量技术，结合物镜的色散特性和双波长分光探测与差分处理技术，实现样品表面位移信息的快速检测。本发明首次提出用波长分光装置将物镜收集的经样品反射的测量光束根据波长分离至不同探测区域，通过对两个照明波长下的探测色散共焦响应强度信息进行差分处理，进而得到被测样品表面沿测量光束光轴方向的位移信息。本发明将双波长色散共焦技术、透镜的色散、双波长分光探测与差分处理等技术相结合，快速获取被测样品表面位移信息，为实现样品表面轮廓、形貌、形位公差等信息的快速检测提供了一种新思路。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 色散 显微 探测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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