[发明专利]多孔玻璃基材的制造方法和制造设备在审
| 申请号： | 202111265447.8 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN114436522A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 野田直人 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及多孔玻璃基材的制造方法和制造设备。当将处于液体状态的有机硅氧烷用作玻璃颗粒的原料时，在原料于气化器中气化时抑制聚合物质的形成。在根据本发明的多孔玻璃基材的制造方法中，将作为原料的液体有机硅氧烷与载气在气化器中混合，通过从由加热器单元加热的气化器的内壁产生的热而气化，并且供给至燃烧器作为气体原料。多孔玻璃基材通过将由气体原料的燃烧产生的玻璃颗粒沉积在起始材料上来制造。控制加热器单元的加热输出，使得气化器的内壁的最高温度为230℃以下。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 玻璃 基材 制造 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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