[发明专利]垂直腔面发射激光器制备方法及垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202111268400.7 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN113922209A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 李加伟;严磊;李国庆 | 申请（专利权）人： | 苏州长瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 215024 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器制备方法，包括：对高铝组分区进行侧壁氧化以生成中间带有氧化孔的氧化限制层的步骤；所述高铝组分区是由至少两个具有不同铝组分的高铝组分层上、下复合而成的复合层结构，所述复合层结构可防止所述氧化限制层内缘的纵截面上出现尖端结构。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器。相比现有技术，本发明可以较低的成本有效实现氧化限制层的内缘纵截面尽量平滑，避免出现曲率较大的尖端结构，进而提升VCSEL的性能和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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