[发明专利]蚀刻废液回收处理方法有效
申请号: | 202111272388.7 | 申请日: | 2021-10-29 |
公开(公告)号: | CN113981449B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 谢晋;何伟雄;张大国;雷欢;曾俊达 | 申请(专利权)人: | 广东中奕环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46 |
代理公司: | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人: | 郭大为 |
地址: | 516000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供的一种蚀刻废液回收处理方法,包括以下步骤:将收集的蚀刻废液通入过滤池中,并加入助滤剂进行过滤,得到滤液和滤渣;将滤液通入电解池,进行电解操作,阴极得到铜和第一溶液,阳极得到第一气体和第二溶液;将第一溶液与第二溶液通入混合喷淋塔中,得到混合液,并将第一气体通入混合喷淋塔,并用混合液对第一气体进行喷淋,得到再生蚀刻液和一级尾气;将一级尾气通入反应罐中,并加入氢氧化钠溶液,进行反应,得到二级尾气和漂白水;将二级尾气通入吸收塔中进行吸收,得到三级尾气;对三级尾气进行检测达标后,再进行排放。利用率较高。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻 废液 回收 处理 方法 | ||
【主权项】:
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