[发明专利]一种晶圆提拉干燥方法及晶圆干燥装置有效
| 申请号： | 202111279331.X | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN114001526B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 申兵兵 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/00 | 分类号： | F26B5/00;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆提拉干燥方法及晶圆干燥装置，所述晶圆提拉干燥方法包括：将晶圆经由冲洗喷杆放置于清洗槽中的支撑部，所述支撑部侧向摆动以带动晶圆朝向顶升机构倾斜；提拉机构的夹紧部预先移动至交接位置下侧，与所述支撑部的位置相对的顶升机构推动晶圆向上移动；当晶圆中心通过所述夹紧部，夹紧部加速向上移动至其速度与顶升机构相同后，两者均速向上移动；夹紧部与顶升机构均匀移动至交接位置时，所述夹紧部夹紧晶圆继续向上移动，顶升机构随夹紧部向上移动后再向下移动至初始位置；在晶圆倾斜向上移动的过程中，干燥喷杆朝向经由的晶圆表面喷射干燥气体，以完成晶圆的提拉干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆提拉 干燥 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华海清科股份有限公司，未经华海清科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111279331.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
