[发明专利]一种IC载板电镀工艺的同步智能检测方法及系统在审
| 申请号： | 202111284004.3 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN114062392A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 赵前波;石教才;赵前高;张仁金 | 申请（专利权）人： | 深圳市卡博尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/88;G01B11/30;C25D21/12 |
| 代理公司： | 深圳市国高专利代理事务所(普通合伙) 44731 | 代理人： | 陈冠豪 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种IC载板电镀工艺的同步智能检测方法及系统，其中，该方法包括：获得第一IC载板的板面信息；根据板面信息，获得功能元器件分布信息；基于图像扫描装置，对板面信息进行图像扫描；基于图像扫描装置，对功能元器件分布信息进行图像扫描，生成集成电路分布图像信息；根据集成电路分布图像信息，对第一IC载板的电镀工艺进行图像监测，获得IC载板电镀叠加图像信息；对IC载板电镀叠加图像信息进行计算机算法的分层级、分布性拆分，获得第一IC载板的电镀拆分图像集合；对电镀拆分图像集合进行数值化分析，获得第一IC载板的电镀同步检测结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ic 电镀 工艺 同步 智能 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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