[发明专利]硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统在审

专利信息
申请号: 202111284172.2 申请日: 2021-11-01
公开(公告)号: CN114012916A 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 孙鹏;刘克村;戴鑫辉;薛俊兵;韩法权;杨国栋 申请(专利权)人: 青岛高测科技股份有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20
代理公司: 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 代理人: 王乾旭;赵红凯
地址: 266114 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请实施例提供了一种硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统。切割装置,包括切割机头机构,所述切割机头机构包括:线锯组件,所述线锯组件具有金刚线,所述金刚线的切割段用于自上而下对竖向设置的硅棒进行切割;检测组件,与所述线锯组件连接,所述检测组件用于对每次切割完成后形成的实际切割曲面进行检测,得到实际切割曲面的形状。硅棒切割系统包括上述切割装置。本申请实施例的检测组件能够对每次切割完成后形成的实际切割曲面进行检测,为下次切割过程中动态精确调整切割段提供了基础。
搜索关键词: 切割 系统 装置
【主权项】:
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