[发明专利]一种抑制静电释放的光罩及其制作方法在审
| 申请号： | 202111284303.7 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN113966059A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 林锦鸿 | 申请（专利权）人： | 泉意光罩光电科技（济南）有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00;H05F3/02;G03F1/40 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 鲁梅 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区经十路7*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种抑制静电释放的光罩及其制作方法，该光罩包括：基板；第一导电层，所述第一导电层位于基板第一表面，并被刻蚀成特定图形；第二导电层，所述第二导电层覆盖所述第一导电层以及所述基板第一表面，使得第一导电层中相邻且不相连的线路能够导通，从而当光罩的第一导电层存在静电时，能够使得所述光罩中的所述第一导电层中相邻且不相连的线路中的静电发生中和，消除掉所述第一导电层中相邻且不相连的线路中的大部分静电，从而有助于消除所述光罩的所述第一导电层中相邻且不相连的线路上的大部分静电，抑制所述光罩发生静电释放，有助于避免光罩上的图形由于发生静电释放被破坏，有助于保证光罩的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 静电 释放 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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