[发明专利]多线TRL校准件的制备方法及多线TRL校准件在审
| 申请号： | 202111284366.2 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN114114119A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王一帮;梁法国;吴爱华;霍晔;栾鹏;刘晨;孙静;徐森锋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 彭竞驰 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多线TRL校准件的制备方法及多线TRL校准件。该方法包括：多线TRL校准件包括一个直通、与直通的横截面相同且不同长度的多个传输线以及反射，方法包括：根据衬底参数和金属参数，得到传输线横截面尺寸；根据传输线横截面尺寸，确定多个不同长度的传输线以及确定开路的横截面尺寸或者短路的横截面尺寸；进行半导体工艺加工，得到校准件；对校准件中的直通、传输线和反射进行参数标定，得到多线TRL校准件。本发明能够解决了目前国内没有多线TRL校准件的制备方式导致缺乏多线TRL校准件的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 多线 trl 校准 制备 方法 | ||
【主权项】：
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