[发明专利]MEMS热电堆传感器的测试方法及系统有效
| 申请号： | 202111284620.9 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN113820045B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 石梦;毛海央;刘洋;周娜 | 申请（专利权）人： | 江苏创芯海微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K15/00 | 分类号： | G01K15/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS热电堆传感器的测试方法及系统。其包括微区光源以及显微成像系统，通过显微成像系统能观测到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息，并能根据所观察放大后的区域状态信息将微区光源产生的激光仅入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择的区域位置；利用微区光源对待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置进行所需的激光辐照后，采集待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出电压。本发明微区光源能精准定位，并实现对热电堆不同区域部位的直接辐照，以能获取热电堆不同区域部位的输出状态，从而为MEMS热电堆传感器的优化设计提供依据和指导。 | ||
| 搜索关键词： | mems 热电 传感器 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
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