[发明专利]一种颗粒硅生产方法和系统在审
| 申请号： | 202111286752.5 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN114132933A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 陈其国;郭晓晖;兰天石;刘辉 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/039 | 分类号： | C01B33/039;C01B33/03;C01B33/021 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 严志平 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种颗粒硅生产方法，包括以下步骤：以来自硅粉源的硅粉、氯化氢源的氯化氢、四氯化硅源的四氯化硅和氢气源一的氢气作为原料，进行氯氢化反应得到粗三氯氢硅源；将粗三氯氢硅源纯化分离；将来自三氯氢硅源的三氯氢硅经歧化反应得到粗二氯二氢硅源；将粗二氯二氢硅源分离；将来自二氯二氢硅源中二氯二氢硅进行歧化反应得到粗硅烷源；将粗硅烷源纯化分离；将来自硅烷气源的硅烷气和氢气混合，硅烷气发生非均相沉积生成产品颗粒硅源一。本发明还公开一种颗粒硅生产系统。本发明提供的一种颗粒硅生产方法和系统，能够对歧化反应副产物进行循环利用，提高原料利用率；同时能够有效降低颗粒硅的氢浓度和颗粒硅中的硅粉，从而进一步提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 生产 方法 系统 | ||
【主权项】：
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