[发明专利]用于溶解抛光粒子的组合物及使用其的清洁方法在审
| 申请号： | 202111289645.8 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN114437883A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 郑敬振;郑佳英;尹永镐;朴健熙;金暎坤;郑用昊 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/10 | 分类号： | C11D7/10;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 杜兆东 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于溶解抛光粒子的组合物及使用其的清洁方法，更具体地，涉及一种用于溶解抛光粒子的组合物及使用其的清洁方法，所述用于溶解抛光粒子的组合物包括：含硫有机酸；含氟离子化合物；以及溶剂，其中，在60℃温度下测量15分钟的浊度变化降低率为‑80％至‑99％。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溶解 抛光 粒子 组合 使用 清洁 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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