[发明专利]一种导电金属氧化物靶材制备工艺在审
| 申请号： | 202111292657.6 | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN114182222A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 蔺裕平;韩刚库 | 申请（专利权）人： | 梭莱镀膜工业(江阴)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F9/08;C23C4/10;C23C4/134;C23C14/08;B22F1/16 |
| 代理公司： | 江阴市权益专利代理事务所(普通合伙) 32443 | 代理人： | 陈强 |
| 地址： | 214437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种导电金属氧化物靶材制备工艺，所述工艺步骤为：步骤1、选料：准备好Zn锭和Sn锭；步骤2、融化：Zn锭和Sn锭加热升温至400‑500℃融化，并采用电磁搅拌技术搅拌1‑2小时；步骤3、金属雾化：采用金属雾化工艺将步骤2中的熔融的金属合金制备成粉末状颗粒，粉末状颗为表面为氧化锌锡涂层、中心为ZnSn合金的球形颗粒；步骤4、筛分：从步骤3中的粉末状颗粒筛选出粒径为40~120um的球形颗粒作为粉料；步骤5、喷涂：采用等离子喷涂工艺，将步骤4中的粉料喷涂形成靶材。本发明一种导电金属氧化物靶材制备工艺，能够采用磁控溅射制备氧化锌锡膜层，从而提高其镀膜工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 金属 氧化物 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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