[发明专利]金属遮罩基材的制备方法有效
| 申请号： | 202111297949.9 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114107988B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 林启维;林文宜 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23F1/00;C25F3/16;G01N21/57 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属遮罩基材的制备方法，包括提供金属基材。接着，量测金属基材的表面并取得光泽度。之后，判断光泽度是否介于默认值范围内。当判断光泽度介于默认值范围内时，对金属基材进行光刻制程，其中上述默认值范围介于90GU至400GU。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 基材 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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