[发明专利]一种大尺寸MEMS微镜结构及制作方法在审
| 申请号： | 202111298170.9 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN113985600A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 王棠猛;徐志飞 | 申请（专利权）人： | 珩图科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 扬州润中专利代理事务所(普通合伙) 32315 | 代理人： | 谢东 |
| 地址： | 200000 上海市青浦区赵巷镇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸MEMS微镜结构。该大尺寸MEMS微镜结构包括MEMS微镜，MEMS微镜包括偏转机构，所述偏转机构的底部开设有若干个空腔，偏转机构的两端设置有连接部，连接部的端部通过转轴连接有驱动机构，驱动机构的底部设置有底座，底座开设有供偏转机构翻转的第一真空腔，驱动机构的两侧设置有驱动电极，底座设置有与驱动电极连通的TSV结构，所述偏转机构的顶部设置有镜面，镜面的上方设置有光学体，光学体包括与驱动机构固接的基座，基座的底部开设有供偏转机构翻转的第二真空腔，基座的顶部设置有半球体，半球体的投影覆盖偏转机构。本发明解决了现有技术驱动力较小，不能克服大镜面微镜自身具有较大的惯性量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 mems 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
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