[发明专利]一种复合式坐标测量仪在审
申请号: | 202111299508.2 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114234798A | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 王志伟;曹葵康;周健;朱怡;杨聪;黄沄;蔡雄飞;徐一华 | 申请(专利权)人: | 苏州天准科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人: | 郭士磊 |
地址: | 215153 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种复合式坐标测量仪,属于高精测量领域,测量仪包括带地脚的花岗石底座、龙门侧立柱、Y轴移动台组件、X轴移动台组件、Z轴移动台组件、复合式测头组件、误差补偿单元、气控系统和控制台,本发明的复合式测量仪具备三种不同测量头,通过设置温度补偿、气压异常应对、速度及加速度异常控制提高了测量仪的精度和测控效率,测量精度能够达到亚微米甚至亚纳米级别,在工业测量领域可以广泛应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 复合 坐标 测量仪 | ||
【主权项】:
暂无信息
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