[发明专利]一种固态型体声波谐振器在审
| 申请号： | 202111300715.5 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114301420A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 陈功田;肖练平;李秋均 | 申请（专利权）人： | 郴州功田电子陶瓷技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 深圳市鼎圣霏凡专利代理事务所(普通合伙) 44759 | 代理人： | 徐晶 |
| 地址： | 423000 湖南省郴*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固态型体声波谐振器，包括Si基底层、Ti反射层、Mo反射层、Mo底电极层、MgxZn1‑xO薄膜和Au上电极，所述Si基底层的顶部设置有布喇格反射层，所述布喇格反射层的顶部设置有压电层，所述布喇格反射层包括交替设置的三层Ti反射层和两层Mo反射层；通过采用直流磁控的溅射法,以Ti/Mo为布喇格反射层高低声阻抗材料，优化了溅射功率、衬底温度和溅射气压，从而优化了布喇格反射层表面粗糙度，优化了声波在反射层的反射，同时采用磁控溅射法沉积并以优化制备参数制得MgxZn1‑xO薄膜，可增加压电薄膜的电阻率，并减少高频响应损坏，使得本发明的固态型体声波谐振器具有尺寸小、功耗低、机械度强和可靠性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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