[发明专利]一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器有效
申请号: | 202111301542.9 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114001879B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 冉振为;洪荣丰;杨效;曹大阳;郭炳汉;汪浩 | 申请(专利权)人: | 深圳华尔升智控技术有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人: | 胡欢 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,涉及氦质谱捡漏设备技术领域。该用于氦质谱检漏仪的分流过滤器,包括供燃板、微型通气孔、固定外壳、旋转内壳和发热电阻。将供燃板的表面放置有镁条,对加热装置加热,给发热电阻通电,直至达到镁条的燃点,镁条在空气中可以和氮气、氧气以及二氧化碳发生反应,所生成的都是非气体,不会影响氦气的含量,以此提升氦质谱检漏仪吸入气体中氦气的含量,提高氦质谱检漏仪的检漏精度,且许多弯曲的微型通气孔也不会妨碍气体的进出,也不会防止生成的固体下落至氦质谱检漏仪的内部,由于发热电阻在通电加热时的热量很高,可以利用固定外壳和旋转内壳进行保护,同时也不会妨碍发热电阻的更换。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 氦质谱 检漏 分流 过滤器 | ||
【主权项】:
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