[发明专利]声表面波温度压力双参数传感装置及其制备方法在审
| 申请号： | 202111303254.7 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114076617A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 谭秋林;梁晓瑞;张娟;张磊;张文栋;熊继军 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京致科知识产权代理有限公司 11672 | 代理人： | 董玲;魏红雅 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开一种声表面波温度压力双参数传感装置及其制备方法，其中，声表面波温度压力双参数传感装置包括：键合在一起的第一耐高温基底和第二耐高温基底；第二耐高温基底上形成有凹槽，以在第一耐高温基底和第二耐高温基底之间形成密封空腔；第一耐高温基底位于空腔内的第一表面上形成有第一声表面波温度传感器和声表面波压力传感器，第一耐高温基底的与第一表面相对的第二表面上形成有第二声表面波温度传感器，第一声表面波温度传感器、第二声表面波温度传感器、声表面波压力传感器相互电连接，本发明可有效提高温度、压力传感器的工作温度，实现对高温环境中的构件进行实时健康监测。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 温度 压力 参数 传感 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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