[发明专利]一种多功能的纳米压印系统有效
| 申请号： | 202111315559.X | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114002914B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能的纳米压印设备，包括基片、工作模具，还包括工作模具承载台单元，在所述工作模具承载台单元一侧设置基片承载板单元，另一侧设置工作模具承载板单元，还包括位于所述工作模具承载台单元正上方的对准单元，以及位于所述基片承载板单元正上方的紫外固化单元。本发明的有益效果是：基片承载板单元、工作模具承载板单元，实现对基片的承载和旋转换，完成基片单面压印和双面压印；对准单元能够观察对准标记和的相对位置，并把实时图像展示在屏幕上；紫外固化单元发出紫外线，固化纳米压印胶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 纳米 压印 系统 | ||
【主权项】：
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