[发明专利]一种热膜式火星表面风场测量传感器在审
| 申请号： | 202111318225.8 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114113674A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张雷博;方静;彭泳卿;刘希宝;蔡治国;冯红亮;黄晓瑞;王丰;刘建华 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P5/12 | 分类号： | G01P5/12;G01P13/02 |
| 代理公司： | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热膜式火星表面风场测量传感器，包括：风场传感器敏感端、铝合金壳体、信号电缆、传感器电缆接插件；风场传感器敏感端包括敏感芯片、隔热基座、金丝、转接PCB板；敏感芯片以单晶硅为基底，单晶硅基底表面采用溅射、光刻、腐蚀等MEMS工艺步骤制备薄膜铂电阻：测温电阻R1，加热电阻R2，接地电阻R3。R1，R2，R3通过金丝同转接PCB板形成电气连接。该传感器结合信号调理电路闭环控制，敏感芯片可同周围环境形成恒定温差，其中加热功率同风速，风向相关，从而实现风场参数测量。该传感器具有很高的灵敏度，可实现火星低气压环境下风速风向参数的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热膜式 火星 表面 测量 传感器 | ||
【主权项】：
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