[发明专利]一种新型的用于离子注入机的离子源的阴极固定装置在审
| 申请号： | 202111321157.0 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114220726A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人： | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30;H01J37/04;H01J9/18;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张晓玲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于离子注入机的离子源的阴极固定装置，包括：紧固件；卡具，所述卡具设置在阴极外围，其上设置有凸块，所述凸块上设置有连接孔，所述连接孔用于配合紧固件将所述卡具固定在阴极上；以及支撑结构，所述支撑结构通过紧固件与所述凸块连接。本发明的阴极固定装置取消阴极杯体底部的中间杆，由设置在阴极外围的卡具和与卡具连接的支撑结构来固定阴极，将承重部位由中间杆变成整体外圈受力，可以有效避免因中间杆变形而引起的短路，提高离子注入机的利用率，节约人力和物力。本发明还涉及包括所述阴极固定装置的离子源，以及利用上述阴极固定装置固定阴极的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 用于 离子 注入 离子源 阴极 固定 装置 | ||
【主权项】：
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