[发明专利]废气处理系统在审
| 申请号： | 202111321232.3 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114210197A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 杨春涛;杨春水;张坤;蔡传涛;席涛涛;宁腾飞;王继飞;闫潇;章文军;陈彦岗;李阳 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/56;B01D53/90;F23G7/06;F23J15/06;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 邢大鑫 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种废气处理系统，包括反应装置和氮氧化物处理装置，氮氧化物处理装置包括第一反应腔和催化组件，催化组件设置于第一反应腔内，反应装置包括第二反应腔、降温腔和降温喷头，降温喷头设置于降温腔内，第二反应腔的出口与第一反应腔的进口通过降温腔连通。利用第二反应腔排出的高温气体，通过控制降温喷头的工作，可以控制气体在催化反应时所需要的温度，节约了催化反应需要再次升温的能量消耗。还可根据不同的催化剂，通过降温腔将带有氮氧化物的气体调整至不同的温度，满足不同催化剂进行催化反应时所需的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 系统 | ||
【主权项】：
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