[发明专利]对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 202111324015.X | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN114032498A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 小林康信 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法，对准装置包括：对准测量位置信息存储部，存储与基板的对准测量位置相关的信息；以及测量部，根据基于与上述对准测量位置相关的信息获得的基板和掩模的对准标记的图像，测量基板与掩模的相对的偏移，与上述对准测量位置相关的信息包括在基板的至少一部分与掩模接触的状态下进行的对准工序中的与基板的位置相关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 装置 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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