[发明专利]一种FeCoCr磁码盘薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 202111327639.7 | 申请日： | 2021-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN114086136B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 徐秀兰;于广华;张辉;黄意雅;郭奇勋;朱冠伦;任宏宇 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C14/58;C23C14/02;C23C14/16 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料，属于磁性材料技术领域，包括基底，在所述基底上采用磁控溅射法交替沉积的FeCoCr/Si周期性多层膜，以及采用磁控溅射法沉积于所述周期性多层膜上的顶层保护层，用于防止所述周期性多层膜被氧化。本发明还提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法。本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料，设计成FeCoCr/Si周期性多层膜结构，通过优化磁性层FeCoCr和非磁性层Si的厚度以及周期数，可以对周期性多层膜的矫顽力等磁性能有很好的调控作用，可使FeCoCr薄膜的矫顽力稳定保持600Oe以上，满足磁编码器码盘材料对矫顽力的实际应用需求。并且，本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法，简单、控制方便、效率高且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 fecocr 磁码盘 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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