[发明专利]一种提升DUV光源的波段选择性的产生方法在审
| 申请号： | 202111332829.8 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114205980A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 朱益飞 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 广东省中源正拓专利代理事务所(普通合伙) 44748 | 代理人： | 王明亮 |
| 地址： | 710000 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提升DUV光源的波段选择性的产生方法，包括以下步骤:步骤一：将生产DUV的产生装置组装完成；步骤二：通过抽真空组件对石英管内部进行抽真空；步骤三：通过充气组件对石英管内部进行填充气体步骤四：打开高压脉冲电源，在高压电极上形成脉冲电压和强电场；步骤五：强电场将管内的气体分子或原子激发，形成一道高速移动的电离波并向低压端运动；步骤六：电离波在运动的过程中，形成含有大量激发态分子原子和离子的等离子体区域；步骤七：等离子体区域中的激发态分子在退激过程中会形成大量的光辐射，从而形成DUV光源；本发明可以极大的减少试错成本，提升DUV光源的波段选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 duv 光源 波段 选择性 产生 方法 | ||
【主权项】：
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