[发明专利]一种基于SOI的对角刻蚀亚波长光栅型片上偏振旋转器有效
| 申请号： | 202111334523.6 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114019605B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 惠战强;文习建;韩冬冬;李田甜;葛海波;巩稼民 | 申请（专利权）人： | 西安邮电大学 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/14;G02B6/124 |
| 代理公司： | 西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 61260 | 代理人： | 石琳丹 |
| 地址： | 710121 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于SOI的对角刻蚀亚波长光栅型片上偏振旋转器，属于光纤通信技术领域。该偏振旋转器包括：衬底；衬底的顶部设置有一段条形波导，形成偏振旋转区域；沿着入射光的传输方向，条形波导的其中一组对角上分别开有若干个第一凹槽和若干个第二凹槽，形成第一亚波长光栅和第二亚波长光栅；若干个第一凹槽和第二凹槽内均填充有二氧化硅。在本发明中，该偏振旋转器结构简单，易于片上集成，并且在300nm(1400nm‑1700nm)波长范围内，实现TE和TM两种输入偏振光之间的相互转化，对于入射光(TE/TM基模)在S‑到U‑波段范围内插入损耗小于0.5dB，同时偏振旋转效率高于91％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 soi 对角 刻蚀 波长 光栅 型片上 偏振 旋转 | ||
【主权项】：
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