[发明专利]半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备在审
申请号: | 202111335863.0 | 申请日: | 2018-10-26 |
公开(公告)号: | CN114068533A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 朱慧珑 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L27/092 | 分类号: | H01L27/092;H01L21/8238 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 公开了一种半导体器件及其制造方法及包括该半导体器件的电子设备。根据本公开的实施例,半导体器件可以包括:衬底、依次叠置在衬底上的第一器件和第二器件。第一器件和第二器件各自均包括:从下至上依次叠置的第一源/漏层、沟道层和第二源/漏层,以及绕沟道层的至少部分外周形成的栅堆叠,第一器件和第二器件各自的沟道层的侧壁中至少部分沿不同的晶体晶面或晶面族延伸。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 包括 器件 电子设备 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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