[发明专利]考夫曼离子源装置及其控制方法有效
| 申请号： | 202111341201.4 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114156150B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 程壹涛;吴海;赵英伟;吴爱华;王露寒;任泽生;刘成群;王利芹;张文朋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张一 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种考夫曼离子源装置及其控制方法，属于离子束刻蚀技术领域，考夫曼离子源装置包括：放电室；电源连接组件，包括设于放电室外的灯丝电源，以及与灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个电源触点结构分别设于放电室相对的两侧壁，且两个电源触点结构均伸入放电室内；两个灯丝固定组件，两个灯丝固定组件均包括设于放电室内的固定底座，与固定底座连接的固定仓，与固定仓移动配合的移动仓，以及设于移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个移动仓的灯丝触点端子之间；电源触点结构与灯丝固定组件的位置相对应，在平移驱动组件的作用下，实现不同阴极灯丝的更换。 | ||
| 搜索关键词： | 考夫曼 离子源 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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