[发明专利]微流体浓度传感芯片及微流体特性测量装置有效
| 申请号： | 202111344435.4 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114100708B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 黄立基;冯小川;蒋昌明;冯勇 | 申请（专利权）人： | 矽翔微机电系统（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 王献茹 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微流体浓度传感芯片及微流体特性测量装置，涉及微流体测控技术领域。其中，该微流体浓度传感芯片，包括基体，基体设置有微加热器和至少两个传感元件，各传感元件与微加热器之间的距离不同，传感元件用于测量流体的热扩散率。该微流体特性测量装置，包括测量主体和的微流体浓度传感芯片，测量主体设置有流体通道，流体通道的通道壁设置有测量腔室，测量腔室与流体通道连通；微流体浓度传感芯片设置于通道壁，且微流体浓度传感芯片的感测表面位于测量腔室内，用于测量流入测量腔室内的流体的热扩散率，热扩散率与待测流体的浓度单调相关。使用该微流体浓度传感芯片能够获得待测流体在整个浓度量程内的浓度，可实现全量程高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 浓度 传感 芯片 特性 测量 装置 | ||
【主权项】：
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