[发明专利]自动光学检测方法、自动光学检测系统及记录媒体在审
| 申请号： | 202111345573.4 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114972152A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 古承伟;王上棋;李佳烨 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/12;G06T7/13;G06V10/764;G06V10/774 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 宋兴;刘芳 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动光学检测方法、系统及记录媒体。此方法经由光学镜头获取待测物的原始图像，其中原始图像包括多个第一图像；对原始图像执行边缘检测，以获得具有边缘图案的边缘图像，其中边缘图像包括多个第二图像；计算第二图像中像素值的最大值、最小值及平均值至少其中之一；根据单位面积分割边缘图像为多个图像区块，并根据图像区块中包括的多个第二图像对应的最大值、最小值及平均值至少其中之一计算多个特征值；以及根据特征值与待测物数据训练对应待测物缺陷的回归模型以获得最佳回归模型。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 光学 检测 方法 系统 记录 媒体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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