[发明专利]一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备有效
| 申请号： | 202111346115.2 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114166590B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;王瀚;张鹏;朱强;王传杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（威海） |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 威海恒誉润达专利代理事务所(普通合伙) 37260 | 代理人： | 曾基 |
| 地址： | 264209 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备，其解决了现有磁控溅射设备完成被测试样的上下两面的磁控溅射费时费力，工作效率低的技术问题，其设有反应腔室、翻转驱动装置，反应腔室内的底部设置有靶材，位于靶材的上方设置有承载夹持装置，用以承载夹持被测试样，承载夹持装置设置在反应腔室内，翻转驱动装置与传动轴的一端相连接，传动轴的另一端与承载夹持装置相连接；当被测试样的一面完成磁控溅射后，翻转驱动装置通过驱动传动轴带动承载夹持装置转动，使被测试样的另一面朝向靶材，实现靶材对被测试样的另一面的磁控溅射，可广泛应用于材料力学性能测量技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 尺度 试样 力学性能 测试 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
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