[发明专利]表贴石英音叉陀螺及其加工方法有效
| 申请号： | 202111352167.0 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN113790715B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 褚伟航;裴志强;张琳琳;廖兴才 | 申请（专利权）人： | 北京晨晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5628 | 分类号： | G01C19/5628 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李梦晨 |
| 地址： | 100020*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表贴石英音叉陀螺结构及其加工方法，表贴音叉陀螺结构包括：石英音叉和基座；石英音叉包括：主体部，包括耦合梁、驱动叉指和检测叉指，驱动叉指和检测叉指分别设置在耦合梁相对的两侧，驱动叉指上设置有驱动电极，检测叉指上设置有检测电极；连接梁，至少为两个且数量为偶数，连接梁对称设置于耦合梁的两侧；各个连接梁的一端与耦合梁连接，另一端设置有基部锚点。本发明提供的表贴石英音叉陀螺结构及其加工方法，无需使用金丝键合，通过导电银胶或者共晶焊实现基部锚点和基座固定粘接实现电连接，以消除键合金丝引入的静电耦合误差，减小静电耦合，提高精度以及结构可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 音叉 陀螺 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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