[发明专利]激光加工装置、方法及设备在审
| 申请号： | 202111352236.8 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114211111A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐少林;郭杨;邱佩 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | B23K26/122 | 分类号： | B23K26/122;B23K26/70;B23K26/064;B23K26/03;B23K26/36 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光加工装置、方法及设备。本申请激光加工装置包括液膜厚度控制组件、激光调制组件和聚焦组件。液膜厚度控制组件用于获取液膜厚度，并对液膜厚度进行调整；激光调制组件用于对激光光束进行调制以得到第一光束；聚焦组件用于将第一光束聚焦于覆盖有液膜的待加工材料表面，并对待加工材料进行加工。本申请通过液膜厚度控制组件获取液膜厚度并对液膜厚度进行调整，能够使激光辐射产生的气泡发生非对称湮灭，产生向下的高速微射流，高速微射流携带加工产生的碎屑以及气泡移动，离开加工区域，从而提高加工的质量和加工的效率；此外，调制后的第一光束能够对待加工材料实现高质量加工，提高加工的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 设备 | ||
【主权项】：
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