[发明专利]晶圆盒拆装工具

摘要

本发明公开了一种晶圆盒拆装工具，拆装工具包括底座、能够沿前后方向相对滑动地设于底座上的顶块、能够沿前后方向相对滑动地设置在底座上的推块、用于驱使推块沿前后方向运动的驱动组件，以及设置于顶块与推块之间的限位结构。其中，顶块的前部具有自前向后逐渐向上倾斜延伸的顶推斜面，推块位于顶块的上方。本晶圆盒的拆装工具，通过驱动组件能够实现顶块和推块的前后运动，通过顶块的顶推斜面能够使晶圆盒主体和晶圆盒底座之间的锁定结构解除锁定，通过限位结构能够在锁定结构解锁后，推块能够继续推动晶圆盒底座，从而使其与晶圆盒主体脱离配合，操作简单，且不会对晶圆盒表面造成损伤。