[发明专利]一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法有效
| 申请号： | 202111355504.1 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114075658B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/14;B22F3/24;C22C27/04 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法，所述制备方法将Ni粉质量占比为44.1～49.5％的钨镍合金粉，经混粉‑HP烧结即可得到钨镍合金溅射靶材，不仅可以得到致密度高、微观组织均匀、成分均匀、机加工性能优异的钨镍合金溅射靶材，致密度≥95％，更优时≥99％，满足当前高性能电致变色玻璃的应用需求，还具有工艺简单、成本较低、便于推广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镍合金 溅射 及其 热压 制备 方法 | ||
【主权项】：
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