[发明专利]一种集成光纤声波传感器有效
| 申请号： | 202111356419.7 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114199361B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;徐昊;崔圣军;蔡伟成 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 苗青 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集成光纤声波传感器，包括光纤器件、弹性悬膜、以及声波挡板，弹性悬膜表面具有微孔阵列，其中每个微孔对应一个声波传感单元；声波挡板用于反射声波，以识别声波的传播方向；光纤器件射出的光束，入射到弹性悬膜上的微孔。本发明的弹性悬膜是一个独立的整体，便于在悬膜上加工各种微结构，易于制备传感单元阵列；本发明的微孔可以独立振动，而且光纤器件阵列垂直正对微孔阵列，器件集成度高；本发明的集成传感单元阵列，通过对比不同传感单元的信号，易于消除外界干扰；本发明的微孔结构，通过协同减小微孔悬膜的直径和厚度，不仅能同时提高传感器的灵敏度和响应频率，还有利于提高集成度、增加光束平行度、增加灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 光纤 声波 传感器 | ||
【主权项】：
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