[发明专利]一种光学路径可控高导热、低电阻的VCSEL制作方法及VCSEL

摘要

本发明涉及一种光学路径可控高导热、低电阻的VCSEL制作方法及VCSEL，其中该方法包括以下步骤：将MQW层上方的主要DBRAlxiGa1‑xiAs/AlyGa1‑yAs(xiy，0≤y≤1，且xi由上至下逐渐变大)中高Al％组分AlxiGa1‑xiAs的部分进行完全氧化，使其转变成Al2O3，在所需的光学路径上形成AlxiGa1‑xiAs/AlyGa1‑yAs DBR堆叠结构并使所述AlxiGa1‑xiAs/AlyGa1‑yAs DBR堆叠结构从上至下逐渐变窄，同时通过控制较临近MQW的低Al％组分AlzGa1‑zAs的氧化速率，继而控制中心未被氧化的AlzGa1‑zAs电流孔径的大小，其中Al％组分满足zxiy；将外围部分完全氧化所形成的Al2O3以化学刻蚀方式去除，保留光学路径的AlxiGa1‑xiAs/AlyGa1‑yAs DBR堆叠结构；去除外围部分的Al2O3所形成的空间以原子层沉积、溅镀、蒸镀及电镀中的一种或多种组合方式填充欧姆金属，以形成低电阻的电学导通路径。