[发明专利]谐振器、滤波器及制造方法在审
| 申请号： | 202111365022.4 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114070258A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王矿伟;赖志国;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64;H03H3/08;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京希夷微知识产权代理事务所(普通合伙) 16079 | 代理人： | 吴黎 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种谐振器、滤波器及制造方法，其中所述谐振器的制造方法包括：形成底电极；在所述底电极上形成压电层；在所述压电层上形成至少一个凹陷部，所述凹陷部的深度与待形成的质量负载层的厚度相同；在所述压电层上形成上电极，所述上电极填充入所述凹陷部的部分形成所述质量负载层，并使所述上电极的上表面平坦化。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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