[发明专利]送料机构及真空移载箱在审
| 申请号： | 202111370188.5 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114134463A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 谢振岗;虞文韬;薛涛;晏海燕;王来泉 | 申请（专利权）人： | 维达力实业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 518129 广东省深圳市龙岗区平湖街道禾花社区富康路6号深业物流*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种送料机构及真空移载箱。送料机构包括：第一转移组件，能够沿第一方向往复移动；第二转移组件，设置于第一转移组件并能够相对第一转移组件沿第二方向往复移动；第三转移组件，设置于第二转移组件并能够相对第二转移组件沿第三方向往复移动，第三转移组件设置有运载组件；第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。通过送料机构可以实现将上一工序中完成的镀膜件运送至下一工序处，避免了人工打开箱体转移镀膜件的这一过程，节省了抽真空的这一步骤，进而能够在一定程度上提高真空镀膜的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机构 真空 移载箱 | ||
【主权项】：
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