[发明专利]一种承载装置及气相外延设备有效
| 申请号： | 202111384254.4 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN113818076B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘晨晖;尧舜;胡斌;董国亮;康联鸿;陈章龙;冒凯;戴伟;汤秀娟 | 申请（专利权）人： | 华芯半导体研究院（北京）有限公司;华芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种承载装置及气相外延设备，属于半导体设备技术领域，该承载装置用于在前置真空腔室和反应腔室之间传输工件，前置真空腔室内设置有第一平移驱动机构，承载装置包括托盘组件、第二平移驱动机构和连接件；第二平移驱动机构设置在托盘组件的背面，第二平移驱动机构通过连接件可移动地设置在第一平移驱动机构中；并且，第一平移驱动机构驱动托盘组件沿第一方向平移，第二平移驱动机构驱动托盘组件沿第二方向平移，第一方向与第二方向不同。本发明的承载装置可使托盘组件在不同的方向平移，实现了反应腔室内维护所涉及工件的一次性进出，大大提高了工作效率，也降低了因多次进出而导致的工件破损的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 装置 外延 设备 | ||
【主权项】：
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