[发明专利]晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备

摘要

本发明公开一种晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备，卡盘组件包括顶升机构、卡盘基体、卡盘环和驱动器，卡盘基体用于承载晶圆，顶升机构用于带动承载于卡盘基体上的晶圆升降，卡盘环固定设置于卡盘基体的下方，驱动器用于驱动卡盘基体相对于卡盘环转动，其中，顶升机构包括顶针、转动部和检测元件；转动部与卡盘环转动连接，转动部与卡盘基体可相对滑动，卡盘基体转动时可带动转动部转动；顶针穿设在卡盘基体中，转动部与顶针相接触，转动部转动的过程中可带动顶针升降，当顶针升高至预设位置时，转动部触发检测元件。上述方案能够解决晶圆清洗设备的可靠性较差的问题。