[发明专利]一种三维封装结构及制备方法在审

专利信息
申请号: 202111385938.6 申请日: 2021-11-22
公开(公告)号: CN114121906A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 张春艳;孙鹏 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;上海先方半导体有限公司
主分类号: H01L25/065 分类号: H01L25/065;H01L25/18;H01L23/31;H01L23/367;H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 张均莹
地址: 214135 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种三维封装结构及其制备方法,其中,三维封装结构包括:塑封结构,所述塑封结构包括塑封层和位于所述塑封中的第一芯片;第二芯片晶圆,与所述塑封结构键合在一起,所述第二芯片晶圆与所述第一芯片电连接。本发明提供的三维封装结构,第二芯片晶圆整体在塑封结构上设置,可以矫正塑封结构的翘曲度;第二芯片晶圆未被塑封层覆盖,具有良好的散热性能;第二芯片晶圆整体键合设置,可提高芯片的封装效率。
搜索关键词: 一种 三维 封装 结构 制备 方法
【主权项】:
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