[发明专利]基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统有效

专利信息
申请号: 202111386341.3 申请日: 2021-11-22
公开(公告)号: CN114062348B 公开(公告)日: 2023-09-12
发明(设计)人: 王哲;顾炜伦;侯宗余;刘家岑;宋玉洲;姬建训;龙杰 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71;G01N21/01
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 袁文婷;张娓娓
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,包括介质阻挡放电模块和激光诱导击穿光谱模块;介质阻挡放电模块包括两个放电器,两个放电器相互靠近的一端均发射等离子体射流,两条等离子体射流对冲后在待测固体样品的表面形成介质阻挡放电等离子体环境;并且,激光诱导击穿光谱模块包括激光器、光纤探头以及光谱仪,激光器发射的激光通过介质阻挡放电等离子体环境后照射在待测固体样品的表面以产生激光等离子体,激光等离子体在介质阻挡放电等离子体环境中产生光子,光子通过光纤探头采集进入光谱仪。本发明提供的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统可以通过结构的设计改善LIBS的信号重复性,并能够降低击穿阈值。
搜索关键词: 基于 介质 阻挡 放电 激光 诱导 击穿 光谱 检测 系统
【主权项】:
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