[发明专利]一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法和系统有效
| 申请号： | 202111387730.8 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN113822883B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 左右祥;杨义禄;关玉萍;查世华;李波;曾磊 | 申请（专利权）人： | 中导光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/73;H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司： | 广州维智林专利代理事务所(普通合伙) 44448 | 代理人： | 赵晓慧 |
| 地址： | 526238 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法和系统。该方法包括：先转盘旋转晶圆并沿着晶圆的外边缘逐帧拍照，并记录拍摄图像时所旋转的角度；接着对拍到的照片逐帧处理并提取图像的边缘信息；然后对得到的图像边缘信息利用最小二乘法，拟合直线；最后根据边缘点和拟合的直线关系来确定是否为直边；并根据直边的倾斜角度以及所在图像的旋转角度，完成晶圆对位。本发明基于视觉图像处理技术，通过查找晶圆直边的方法实现对晶圆的对位，精度高，速度快，鲁棒性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 寻找 晶圆直边 对位 方法 系统 | ||
【主权项】：
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